yy.vip易游-重庆臻宝科技申请静电卡盘内部缺陷检测方法专利精准识别了鼓包缺陷

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　　国家知识产权局信息显示，重庆臻宝科技股份有限公司申请一项名为“静电卡盘内部缺陷检测方法、装置、终端及介质”的专利，公开号CN121595695A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种静电卡盘内部缺陷检测方法、装置、终端及介质，静电卡盘包括陶瓷层和金属层，所述方法包括：通过电涡流探头对所述陶瓷层表面进行逐点接触扫描，采集每个扫描点对应阻抗变化值，得到阻抗变化数据；将阻抗变化数据输入所述阻抗厚度模型，计算每个扫描点的陶瓷层厚度，得到陶瓷层厚度数据；对所述陶瓷层厚度数据进行处理，确定静电卡盘的内部缺陷区域。本申请利用交变磁场在导电材料中感应涡流，通过分析阻抗变化实现高效、接触式的缺陷检测，实现了静电卡盘内部缺陷与膜厚的在线无损检测，精准识别了鼓包缺陷。

　　天眼查资料显示，重庆臻宝科技股份有限公司，成立于2016年，位于重庆市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本11646.7696万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆臻宝科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目35次，财产线条，此外企业还拥有行政许可34个。

　　重庆臻宝半导体材料有限公司，成立于2022年，位于重庆市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆臻宝半导体材料有限公司参与招投标项目13次，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可1个。

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